洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒服感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

静电问题所以在洁净室中特别严重，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都易产生静电和集聚静电，在洁净室的静电灾害未被重视以前，这些材料料是被广泛采用的。

洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及良好的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是：

1．烦恼的效应由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率，层流罩。

2．对工作效率的影响这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神动作准确性工作速度

3．对综合通讯的干扰。

无尘车间风管穿过需要封闭的防火防爆楼板或墙体是采取的措施。应设钢板厚度不小于1.6mm的预埋管或防护套管，无尘车间风管与防护套管之间应采用不燃柔性材料封堵。无尘车间风管穿越建筑物变形缝空间时，应设置柔性短管，无尘车间风管穿越建筑物变形缝墙体时，应设置钢制套管，无尘车间风管与套管之间应采用柔性防水材料填充密实。