产品介绍
HS-TRM-100型无接触式电阻率型号测试仪是基于涡流(Eddy Current)测试技术,能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。
无接触式电阻率型号测试仪-产品特点
测试范围广,低阻可测至0.001ohmNaN,甚至0.0007ohmNaN,高阻可测至100ohmNaN
产品体积小,便于移动和携带
采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
无接触、无损伤快速测试
测试前无需表面处理
特别对于多晶,能够有效避免晶界对测试的影响
测试范围:0.001-100 ohmNaN (分段测试)
可选加无接触PN型号测试功能
可进行温度和厚度的修正
无接触式电阻率型号测试仪-技术指标
硅棒硅块可测量电阻率范围:0.001-100OhmNaN
小测试厚度:200μm
测量时间:2秒/次
小测试面积:30x30 mm2
推荐使用温度:20
湿度:80%
气压:86-106kPa
使用电压:230±10V
频率,50±3Hz
功率消耗:5W
尺寸(LxWxH):280x200x60mm
典型客户
美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。